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国产微电子工艺装备取得重大突破

2003-12-28 来源:光明日报 记者 张国圣 我有话说

本报讯微电子领域一项国家“九五”重点攻关任务,近日在重庆市通过信息产业部和相关部门组织的鉴定验收。它使相关国产设备与国际先进水平的差距缩短了5至8年。

目前我国集成电路的需求占全球需求市场的20%,但关键制造工艺设备大部分依赖进口。数字电路和模拟电路为集成电路的两个主要领域,以人体功能比拟,前者相当于大脑起分析处理作用,后者相当于神经系统起指令转换和反馈作用。“九五”期间,信息产业部会同有关部门根据模拟集成电路和国内关键工艺设备发展战略安排组织的联合攻关,共安排6英寸、0.5微米集成电路关键工艺设备14种、18台套,为微电子工艺设备的自主研发打下坚实的基础,并具有良好的市场前景。

 

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