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国内首台自主知识产权光刻机合肥问世

2007-12-27 来源:光明日报  我有话说

    12月25日,科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。当日,国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。新华社发
(张洪金摄)

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